FC、BG、A封装分别是不同的封装方式,其工艺流程也有所不同,以下是一般的封装工艺流程:FC封装工艺流程:
1. 晶圆切割:将硅片切成单个芯片。
2. 晶圆清洗:在洁净室内进行,去除芯片表面的杂质和污染物。
3. 晶圆上光刻:在晶圆表面涂覆光阻,利用光刻机将电路图案转移到光阻上。
4. 电镀:在光刻后,通过电镀将金属沉积在芯片上,形成电路连接线路。
5. 蚀刻:去除未被金属覆盖的光刻胶。
6. 光刻去除:去除芯片表面的光刻胶。
7. 切割和测试:将芯片切割成单个芯片,进行测试和排序。8. 焊接:将芯片焊接到封装基板上。BG封装工艺流程:
1. 切割晶圆:将硅片切成单个芯片。
2. 晶圆清洗:在洁净室内进行,去除芯片表面的杂质和污染物。
3. 晶圆上涂胶:在晶圆表面涂覆胶料,使芯片与基板粘合。
4. 晶圆上光刻:在涂胶后,将电路图案转移到芯片上。
5. 蚀刻:去除未被金属覆盖的光刻胶。
6. 金属沉积:在芯片表面沉积金属,形成连接线路。
7. 光刻去除:去除芯片表面的光刻胶。8. 切割和测试:将芯片切割成单个芯片,进行测试和排序。9. 焊接:将芯片焊接到封装基板上。A封装工艺流程:
1. 切割晶圆:将硅片切成单个芯片。
2. 晶圆清洗:在洁净室内进行,去除芯片表面的杂质和污染物。
3. 晶圆上涂胶:在晶圆表面涂覆胶料,使芯片与基板粘合。
4. 晶圆上光刻:在涂胶后,将电路图案转移到芯片上。
5. 蚀刻:去除未被金属覆盖的光刻胶。
6. 金属沉积:在芯片表面沉积金属,形成连接线路。
7. 光刻去除:去除芯片表面的光刻胶。8. 切割和测试:将芯片切割成单个芯片,进行测试和排序。9. 焊接:将芯片焊接到封装基板上,使用A封装方式进行封装。以上是一般的工艺流程,具体的工艺流程会根据芯片的特点、封装方式、制造工艺等因素有所不同。