光刻胶正胶和反胶的区别

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光刻胶正胶和反胶的区别急求答案,帮忙回答下

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光刻胶是一种用于集成电路制造的关键材料,其主要作用是在光刻过程中将光子模板上的图案转移到硅片表面。

光刻胶通常分为正胶和反胶两种类型。正胶是一种光刻胶,其化学反应会发生在紫外线照射的区域,使其在该区域固化,而未曝光的部分则仍然保持液态状态。反胶则完全相反,其未曝光的部分会固化,而曝光的部分仍然保持液态状态。这种区别使得正胶和反胶在不同的应用场景中具有不同的优势,例如在芯片制造过程中,正胶通常用于制造芯片的“孔洞”等微小结构,而反胶则更适合制造大面积的平坦结构。

其他答案

在于它们的化学性质不同。正胶是一种能够在紫外线照射下发生聚合反应的溶液,其分子结构中带有不饱和的双键,因此在照射后会发生紫外线引发的聚合反应,形成一层固体的聚合物膜。反胶则是一种可被强酸或强酸性气体(如氯化氢等)分解的化合物,因此在曝光后未被照射到的部分会被酸性剂分解,形成可被去除的胶体图案,而未被分解的部分则形成相应的聚合物膜。需要注意的是,正胶和反胶的使用场合、工艺流程等也存在不同,需要根据具体情况进行选择。

其他答案

光刻胶正胶和反胶是在光刻工艺中使用的两种不同类型的光刻胶。

正胶是一种具有较高的曝光灵敏度的胶料,当它被曝光后,曝光区域的分子结构会发生变化,使其在显影过程中易于被去除。

相反,反胶的曝光灵敏度较低,曝光区域的分子结构不会发生变化,显影过程中只有未曝光区域的胶层容易被去除。

因此,正胶通常用于制作微细结构和高分辨率的芯片,而反胶则更适用于制作较大、较粗的结构和模板。

其他答案

区别:

正胶:正胶是一种透明的树脂,在紫外线的照射下能够发生光聚合反应,但是和氧化剂作用的时候不容易发生氧化反应,因此没有感光性,可以用于铝泊纸上的涂层,也可以用于正性光刻胶。

反胶:反胶又被称为负胶,是一种不透明的树脂,在紫外线的照射下容易发生光聚合反应,但是和氧化剂作用的时候容易发生氧化反应,因此有感光性。

其他答案

正胶受光或紫外线照射后感光的部分发生光分解反应,可溶于显影液,未感光的部分显影后仍然留在晶圆的表面,它一般适合做长条形状,

反胶的未感光部分溶于显影液中,而感光部分显影后仍然留在基片表面,它一般适合做窗口结构,如接触孔、焊盘等。

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