单晶硅的制备先是拉单晶,硅单晶棒有直拉法(CZ法)和区熔法两种
硅单晶棒制备好后再经过滚磨、切割、研磨、倒角、化学腐蚀、抛光,以及几何尺寸和表面质量检测等工序完成单晶硅片的生产
硅片的制备,麻烦给回复
单晶硅的制备先是拉单晶,硅单晶棒有直拉法(CZ法)和区熔法两种
硅单晶棒制备好后再经过滚磨、切割、研磨、倒角、化学腐蚀、抛光,以及几何尺寸和表面质量检测等工序完成单晶硅片的生产
1.与焦炭在电炉中高温,生成粗硅
2.粗硅和Cl2反应,生成SiCl4
3.对SiCl4进行精馏,得纯SiCl4
4.将纯SiCl4与H2在1200°C进行反应,得纯Si
这就是高纯度单晶硅的制取步骤