氦检测原理

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氦检测原理是指全称为氦质谱检漏,其核心是用质谱分析法测定氦的分压,检漏时用氦气作为探索气体,当氦气通过漏孔进入检漏仪中后,使仪器内氦的分压明显增加,从而指示了漏孔的存在,氦检由于检漏灵敏度高、反应快、适应性强,在真空产品的检漏中得到了广泛的应用。

应用氦质谱检漏仪进行检漏时,由于被检件的结构、大小及气密性要求不一样,所以被检件与检漏仪之间的连接方式、对被检件的施氦方法也不同,这样就产生了各种具体的检漏方法。

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