什么是工艺优化

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设计工艺协同优化当开始一个新技术节点光刻技术研发时,选用何种光刻技术必然和设计图形是相关联的。

假设设计是完全随意的,寻找有效的光刻方案将非常困难;及时光刻能实现,其工艺窗口必然很小;考虑另一个极端,为了使光刻工艺容易实现,对设计做非常多的限制,设计工程师将无法完成设计规则的要求。因此,最佳的解决办法是工艺和设计协同优化,彼此协作满足新节点器件的要求。

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